GRAPHTEC數(shù)據(jù)記錄儀半導(dǎo)體?業(yè)應(yīng)?案例集
發(fā)布日期：2026-11-03 點(diǎn)擊：29
GRAPHTEC（日本圖技）GL 系列數(shù)據(jù)記錄儀，是半導(dǎo)體 Fab、封測廠與可靠性實(shí)驗(yàn)室常用的多通道溫度/電壓采集設(shè)備。核心優(yōu)勢是通道間電氣隔離、多信號混合采集、可離線獨(dú)立運(yùn)行，適配潔凈車間強(qiáng)電磁、ESD 敏感的現(xiàn)場環(huán)境。
典型應(yīng)用場景
晶圓工藝測溫：搭配 TC Wafer 測溫片，做光刻、刻蝕、擴(kuò)散爐、RTP 退火的爐溫均勻性與工藝曲線 mapping。
潔凈室環(huán)境監(jiān)控：機(jī)臺(tái)腔體、Chamber、潔凈區(qū)溫濕度、壓差長期記錄，支撐良率追溯與客戶審廠。
器件可靠性測試：高低溫箱、溫循、HAST、HTOL、功率老化，同步記錄結(jié)溫、電壓、電流、振動(dòng)與時(shí)序失效。
設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測：真空泵、冷機(jī)、射頻電源、氣體管路壓力/流量記錄，用于異常追溯與 PM 保養(yǎng)驗(yàn)證。
封測工藝：固晶、焊線、塑封、回流焊爐溫曲線與器件熱阻測試。
